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一、产品介绍:
等离子清洗设备在材料学,光学,电子学,医药学,环境学、生物学等科研领域,主要用于材料表面进行清洗、活化、改性等目的。
CIF推出的新一代等离子体清洗设备,合理的结构设计,优化的腔体尺寸,使得处理样品更大,适用范围更广,性能更稳定,操作更简便,性价比更高,使用成本更低,实用性更强,更容易维护。
二、产品特点
u7寸彩色触摸屏互动操作界面,图形化用户操作界面显示,自动监测工艺参数状态,20个配方程序,可存储、输出、追溯工艺数据,机器运行、停止提示。
uPLC工控机控制整个清洗过程,手动、自动两种工作模式。
u采用美国德威尔(Dwyer)气体浮子流量计,可输入氧气、氩气、氮气、氢气或混合气等气体,气体分配均匀,经济实用。
uHEPA高效过滤,气体返填吹扫,防止二次污染。
u316不锈钢、石英真空仓可选择,全真空管路系统采用316不锈钢材质,耐腐蚀无污染。
u采用60度倾角操作面板设计,符合人体功能学,操作方便,界面友好。
u上控制下舱体结构设计,结构紧凑,占地空间小。
u内凹式前面板设计,有效保护流量计和舱门运输过程中不易损坏。
u处理快速高效均匀,无污染,工艺重复性好。
u样品处理温度低,无热损伤和热氧化。
u安全保护,仓门打开,自动关闭电源。
三、技术参数
型号 |
CPC
-F
|
CPC
-F
plus
|
ICP3
|
ICP3
plus
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舱体尺寸
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D
200
x
Φ155mm
|
D
200
x
Φ155mm
|
H120x
Φ
270
mm
|
H120x
Φ
270
mm
|
舱体容积
|
3.8L
|
3.8L
|
3
.
8
L
|
3
.
8
L
|
射频电源
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40KHz
|
13.56MHz
|
40KHz
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13.56MHz
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匹配器
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自动匹配
|
自动匹配
|
自动匹配
|
自动匹配
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激发方式
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电容式
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电容式
|
电感耦合
|
电感耦合
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射频功率
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10-
3
00W可调
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10-150W可调
|
10-
3
00W可调
|
10-
15
0W可调
|
气体控制
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双浮子流量计
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|||
有效处理尺寸
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L
200
xW
155mm
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产品尺寸
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L
42
5
x
W
4
20
x
H465
mm
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包装尺寸
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L560xW545xH730mm
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时间设定
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1-99分59秒
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真空泵
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抽速
4-
8m3/h
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气体稳定时间
|
1分钟
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真空度
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100pa以内
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电 源
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AC220V 50-60Hz
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