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智能型多功能椭偏仪

简要描述:vSmartSE是一款通用型薄膜测量工具

基础信息

产品型号

厂商性质

代理商

更新时间

2024-10-22

浏览次数

339
详细介绍

vSmart SE是一款通用型薄膜测量工具。测试速度快,准确。它可以表征几埃到20µm薄膜厚度、光学常数(n, k)以及薄膜结构特性(如粗糙度、光学梯度及各向异性等)

v光谱范围:450nm to 1000nm

v光谱分辨率:优于3nm

v光源:卤素灯和蓝光LED

v测试时间:小于1秒到10

v光斑尺寸:

Ø75µm * 150µm, 100µm * 250µm,

Ø100µm * 500µm, 150µm * 150µm,

Ø250µm * 250µm, 250µm * 500µm,

Ø500µm*500µm

v入射角:450 to 900,步径50

v样品尺寸:200mm以内

v样品准直:手动调整样品台高度(17mm以内)和倾角

v空气对射精度:Ψ=450±0.050 Δ=00±0.20

v厚度准确性:0.04%

v厚度重复性:±0.02%

v可选附件:

Ø全自动量角器,入射角度从450900可调,步径0.010

Ø可通过法兰耦合在反应腔实现在线监测

Ø冷热台,液体样品池和电化学反应池

Ø十字星自准直系统


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