光学轮廓仪

简要描述：v测量模式：PSl,USl,VSl,选配的Filmv扫描量程：≤10mmv横向分辨率：0

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2024-10-22

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v测量模式：PSl, USl, VSl,选配的Film

v扫描量程：≤10 mm

v横向分辨率：

0.38 um minimum (Sparrow criterion)

0.13 um (with AcuityXR)

v垂直分辨率：<0.01 nm

v台阶高度重复性：<0.75% <0.125% 1 sigma repeatability

v扫描速度：122 um/sec (with laser reference)

v样品反射率范围：0.05% to 99%

v样品尺寸：350 mm * 304 mm x 304 mm (H x D * W)；249 mm H自动样品台

v样品重量：45 kg (77 kg without standard stage)

vXY品台：300 mm自动样品台

vZ轴聚焦：249(350 mm不带自动台)

v光源：双LED光源

v物镜：

Parfocal: 2.5X, 5x, 10X, 20X, 50X,100X, 115X

LWD: 1X, 2X, 5X，10X

TTM: 2x, 5X, 10x, 20X: Bright Field: 10X

Single-objective adapter; Optional motorized five-position turret

v放大器：0.55X，0.75X，1X，1.5X, 2X auto-sensing modules

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