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v测量功能：二维表面轮廓测量/可选三维测量
v样品视景：可选放大倍率，1 to 4mm FOV
v探针压力：使用LIS 3传感器1至15mg
v低作用力：使用N-Lite+低作用力传感器: 0.03至15mg
v探针曲率半径可选范围: 50nm至25 um
v高径比(HAR)针尖: 10um x 2um和200um x 20um可按客户要求定制针尖
v样品X/Y载物台：
手动X-Y平移：100mm (4英寸）
机动X-Y平移：150mm (6英寸)
v样品旋转台：手动，360°旋转 机动，360°旋转
v扫描长度范围：55mm(2英寸)
v每次扫描数据点：最多可达120.000数据点
v样品厚度：50mm(2英寸)
v晶圆尺寸：200mm(8英寸)
v台阶高度重现性：<4A，1sigma在1um台阶上
v垂直范围：1mm(0.039英寸)
v垂直分辨率：1A (6.55um垂直范围下)
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