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v在宽广的阻抗范围内提供0.65%的基本准确度。可以选配材料测量选件以执行温度特征分析，并能够直接得到介电常数和导磁率读数，是表征和评测电子元器件、半导体器件和材料的理想方案
v3种可升级的频率选件：1 MHz至500 MHz/1 GHz/3 GHz
v±0.65%基本准确度和120 mΩ至52 kΩ阻抗范围
v测量参数：|Z|、|Y|、θ、R、X、G、B、L、C、D、Q、|Γ|、Γx、Γy、θΓ、Vac、Iac、Vdc1、Idc1（1.需要选件001）
v内置直流偏置（选件001）：0 V至±40 V，0 A至±100 mA
v数据分析功能：等效电路分析、极限线测试
v介电/磁性材料测量（选件002）：|εr|、εr'、εr''、tanδ(ε)、|μr|、μr'、μr''、tanδ(μ)
v提供温度特征测量（选件007）和可靠的晶圆上测量（选件010）
v提供温度特征分析功能，并能够直接得到介电常数和导磁率的读数
v探头台连接套件（选件010）可以在高达3 GHz的频率范围内提供准确的晶圆上或微型元器件阻抗测量解决方案
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